多晶

单晶

生长方法

MPCVD

MPCVD

尺寸（mm）

Ф50-Ф150

≥8@通光方向

透过率（%，厚度1mm）

>60%@λ>500nm

>70%@λ>10µm

>65%@λ>500nm

>71%@λ>10µm

吸收系数（cm^-1）

<0.12@λ=1.06μm

<0.07@λ=10.6µm

<0.10@λ=1.06μm

<0.05@λ=10.6µm

热导率（W/mK@300K）

>1800

>2200

热膨胀系数（10^-6/K@300K）

1.0

1.0

介电常数

5.5±0.2@140GHz

/

介电损耗

<6×10^-5@140GHz

/

维氏硬度（GPa）

80

70-120

厚度（mm）

≥1

/

厚度公差（mm）

±0.03

±0.03

平行度(um/cm)

≤5

≤4

平面度PV值(fringe/cm@633nm)

≤1

≤1/3

粗糙度Ra（nm）

≤10

≤2